[发明专利]一种真空加热装置

摘要

本发明公开了一种真空加热装置，包括真空室、真空泵和炉体，所述炉体布置在真空室内，在炉体上布置有多个加热体，真空泵与真空室连通，在真空室顶部设置有基片，所述炉体的底部通过支撑弹簧支撑在真空室内，在炉体旁对应布置有由控制器控制开启的电磁铁。本发明能够实现可控、精确和均匀的加热。

主权项

一种真空加热装置，包括真空室、真空泵和至少一个炉体，所述炉体布置在真空室内，在炉体上布置有多个加热体，在炉体内放置有坩埚，所述真空泵与真空室连通，在真空室顶部设置有基片，其特征在于：所述加热体包括对应布置在炉体底部的一个加热体和等距间隔布置在炉体外周的多个加热体，所述加热体由控制器控制，所述各加热体上带有温度传感器，控制器采集各温度传感器的温度信号，所述炉体的底部通过支撑弹簧支撑在真空室内，在炉体旁对应布置有由控制器控制开启的电磁铁，在所述各炉体的上方还对应布置有温度传感器以及由控制器控制的可调速的引流风扇。