[发明专利]数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法，所述系统包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接。本发明系统结构精巧、合理，使用方便，满足了迈克尔逊干涉仪工作时的平稳运行的要求，保证了迈克尔逊干涉仪的测量精度，具有在同类产品中使用更广泛、性价比更高等优点。

主权项

1.数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接；所述干涉环测量装置包括第二壳体、光敏元件、信号处理电路板、传输接口和状态指示LED灯，所述光敏元件设置在第二壳体的一侧，并对准干涉条纹观测屏；所述状态指示LED灯设置在第二壳体的另一侧；所述信号处理电路板设置在第二壳体内，并与光敏元件和状态指示LED灯连接；所述传输接口设置在第二壳体上，该传输接口与信号处理电路板连接，并通过数据线与微调手轮驱动装置的SATA串口连接，信号处理电路板上设有直流隔离电路、放大电路、低通滤波电路、滞回比较器和微处理器，所述光敏元件采用光敏三极管或光敏二极管。