[发明专利]空间光调制器的缺陷层别检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201610069274.5 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN105699385B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 范静涛;索津莉;蔡娅雯;戴琼海 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空间光调制器的缺陷层别检测系统及检测方法。检测方法包括以下步骤：S1：采集空间光调制器的缺陷中心处的两个彼此相对的方向的图像；S2：对采集的两个所述图像分别进行图像预处理，转换为将所述缺陷中心处凸显出来的二值图像；S3：采用双目匹配算法，依据两个所述二值图像计算所述空间光调制器的缺陷视差；S4：采用kmeans聚类方法，依据所述缺陷视差进行层别判断，完成所述空间光调制器缺陷的层别检测。本发明具有如下优点：广泛应用在各种空间光调制器的缺陷层别检测当中，并且可以实现高效率、高准确度的全自动检测设备，弥补了人工检测的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 调制器 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空间光调制器的缺陷层别检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：采集空间光调制器的缺陷中心处的两个彼此相对的方向的图像；S2：对采集的两个所述图像分别进行图像预处理，转换为将所述缺陷中心处凸显出来的二值图像，所述步骤S2进一步包括：S201：如果采集得到的所述图像是灰度图像，则进入步骤202；若采集得到的所述图像是彩色图像，则对所述彩色图像进行HSV色彩空间变换，并提取V通道将所述彩色图像变为灰度图像后进入步骤S202；S202：对两个所述灰度图像均进行膨胀处理，对经过膨胀处理后的两个所述灰度图像均进行腐蚀处理；S203：将两个所述灰度图像均进行二值化，凸显出所述空间光调制器的缺陷区域的位置；S3：采用双目匹配算法，依据两个所述二值图像计算所述空间光调制器的缺陷视差；S4：采用kmeans聚类方法，依据所述缺陷视差进行层别判断，完成所述空间光调制器缺陷的层别检测。
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