[发明专利]乙硼烷混合气中乙硼烷的定量测定方法

摘要

本发明涉及红外光谱法对混合气体组分的定量检测技术领域，具体公开了一种乙硼烷混合气中乙硼烷的定量测定方法，采用红外光谱法，扫描范围为400～4000 cm^‑1，分辨率为4cm^‑1，将空白样的红外光谱设定为背景；将乙硼烷浓度小于或等于5wt%的乙硼烷混合标准气进行红外光谱扫描，以2295.36cm^‑1～2342.12cm^‑1的乙硼烷的红外特征吸收峰的峰面积绘制标准曲线；同样的测试条件下，对乙硼烷浓度小于或等于5wt%的乙硼烷混合气样品进行测量，根据红外特征吸收峰的峰面积与其含量成正比关系，计算得样品气中乙硼烷浓度。本发明能够快速、准确的测定乙硼烷混合气中乙硼烷浓度，测试成本低，操作方便，效率高。

主权项

1.乙硼烷混合气中乙硼烷的定量测定方法，其特征在于：采用红外光谱法，包括，标准曲线绘制：分别将多个不同乙硼烷浓度、且乙硼烷浓度小于或等于5wt％的乙硼烷混合标准气进行红外光谱扫描，选择红外谱图中波段在2295.36cm‑1～2342.12cm‑1之间的红外峰作为乙硼烷的红外特征吸收峰，根据所得各标准气的红外光谱图中同波段的乙硼烷的红外特征吸收峰的峰面积绘制标准曲线；乙硼烷混合气样品的测量：在与标准气同样的测试条件下，对样品气进行红外光谱扫描，根据所得样品气红外谱图中同波段的乙硼烷红外特征吸收峰的峰面积，在标准曲线上查出样品气中乙硼烷浓度；其中，红外光谱仪参数条件设置为：样品扫描次数为32次，背景扫描次数为32次；分辨率4.000，采样增益1.0，动镜速度1.8988，光栅10.00，扫描范围400～4000cm‑1；将空白样的红外光谱设定为背景。