[发明专利]透明板检查装置及透明板清扫检查系统

摘要

本发明提供透明板检查装置及透明板清扫检查系统，能够在异物难以附着于透明板的状态下检查透明板并能够进行正确地检查。透明板检查装置，用于检查透明板，其特征在于包括：壳体，具有所述透明板的输入口和输出口；输送机构，将所述透明板从所述输入口输送到所述输出口；检查部，检查被所述输送机构输送的所述透明板；以及异物附着阻止机构，在所述壳体的内部阻止异物附着于所述透明板。所述异物附着阻止机构具有使所述壳体的内压高于外部气压的加压机构。所述加压机构具有：将所述壳体的外部空气向所述壳体的内部送入的送入机构、和屏蔽被所述送入机构输送的空气中含有的异物向所述壳体的内部侵入的过滤器。所述加压机构设于所述壳体的上部。

主权项

1.一种透明板检查装置，用于检查透明板，其特征在于，所述透明板检查装置包括：壳体，具有所述透明板的输入口和输出口；输送机构，将所述透明板从所述输入口输送到所述输出口；检查部，检查被所述输送机构输送的所述透明板；以及异物附着阻止机构，在所述壳体的内部阻止异物附着于所述透明板，所述输送机构以不接触所述透明板的表面和背面的方式来输送所述透明板，所述输送机构通过接触所述透明板的端缘来保持所述透明板，所述输送机构包括：第一输送构件，在接触所述透明板的端缘的同时进行输送；上升构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述第一输送构件输送来的所述透明板，并使该透明板上升；以及第二输送构件，与所述透明板的端缘接触的同时承接被所述上升构件上升的所述透明板，并向所述检查部的检查区域输送该透明板，所述上升构件包括：吸引从所述第一输送构件输送来的所述透明板的上表面的吸引部、和通过接触吸引于所述吸引部的所述透明板的上端缘来定位所述透明板的高度位置的多个定位部，所述多个定位部具有与所述透明板的端缘接触的锥面，以阻止所述吸引部与所述透明板的上表面接触。