[发明专利]气体激光装置

摘要

气体激光装置包括激光实际输出获取部和判定部，该激光实际输出获取部获取第一激光实际输出和第二激光实际输出，该第一激光实际输出是在指示了第一激光气体压力指令并经过了固定时间后的规定的激光输出指令下的激光实际输出，该第二激光实际输出是在指示了小于第一激光气体压力的第二激光气体压力指令并经过了固定时间后的规定的激光输出指令下的激光实际输出；该判定部通过将第一激光实际输出与第一基准输出进行比较并且将第二激光实际输出与小于上述第一基准输出的第二基准输出进行比较来判定气体容器内的激光气体的组成比是否正常。

主权项

1.一种气体激光装置，具备：气体容器，其容纳激光气体，该激光气体作为在气体激光振荡器中振荡出激光的介质；压力获取部，其获取该气体容器中的上述激光气体的压力值；激光气体源，其为要容纳于上述气体容器的激光气体的气体源；激光气体供给部，其向上述气体容器供给该激光气体源的激光气体；激光气体排出部，其从上述气体容器排出上述激光气体；激光气体压力控制部，其基于由上述压力获取部获取到的压力值来控制上述激光气体供给部和上述激光气体排出部；激光气体压力指令输出部，其在上述气体激光振荡器启动时输出用于产生激光的额定输出的第一激光气体压力指令以及在第一激光实际输出不为第一基准输出以上的情况下输出小于该第一激光气体压力的第二激光气体压力指令，该第一激光实际输出是在指示了上述第一激光气体压力指令并经过了固定时间后的规定的激光输出指令下的激光实际输出；激光实际输出获取部，其获取上述第一激光实际输出和第二激光实际输出，该第二激光实际输出是在指示了上述第二激光气体压力指令并经过了上述固定时间后的上述规定的激光输出指令下的激光实际输出；以及判定部，其通过将上述第一激光实际输出与上述第一基准输出进行比较并且将上述第二激光实际输出与第二基准输出进行比较，来判定上述气体容器内的上述激光气体的氦成分是否下降了。