[发明专利]研磨装置及其研磨方法有效
| 申请号： | 201610053780.5 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN107009262B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 周景星 | 申请（专利权）人： | 周景星 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/07 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 王正茂;丛芳 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨装置及其研磨方法，其中研磨装置包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。承载盘旋转工作。至少一个被研磨物定位于承载盘上。砂轮盘相对应承载盘旋转工作。多个研磨齿连接砂轮盘，多个研磨齿接触研磨被研磨物，各研磨齿研磨于被研磨物的表面上而产生研磨面积，各研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度，虚拟放射线与砂轮盘的中心相交且与相对应研磨齿的中心相交，且研磨角度大于0度且小于35度。借此，本发明的研磨装置及其研磨方法，利用特殊的研磨角度配合相对应参数，可使被研磨物的表面产生较大的研磨面积、等量研磨且能顺利排屑，进而缩小总厚度变异。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包含：承载盘，其旋转工作；多个被研磨物，其定位于所述承载盘上；砂轮盘，其相对应所述承载盘旋转工作；以及多个研磨齿，其连接定位于所述砂轮盘且呈旋涡状排列，所述多个研磨齿接触研磨各所述被研磨物，各所述研磨齿研磨于其中一个所述被研磨物的表面上而产生研磨面积，各所述研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度，所述虚拟放射线与所述砂轮盘的中心相交且与相对应所述研磨齿的中心相交，且所述研磨角度大于0度且小于20度。
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