[发明专利]电子部件输送装置以及电子部件检查装置在审
| 申请号： | 201610048422.5 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN105929262A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 高田冬生;中村敏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;青炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供抵接部件中的冷却响应性优异的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。电子部件检查装置(1)具备：多个头(3)，其与电子部件抵接；供给流路(10A)，其对头(3)供给制冷剂(RF)；以及回收流路(10B)，其从头(3)回收制冷剂(RF)。另外，供给流路(10A)具有与制冷剂源(28)连接的第一供给流路(47)、以及成为从第一供给流路(47)分支并朝向各头(3)的第二供给流路(53A)的供给用挠性管(5A)。另一方面，回收流路(10B)具有与制冷剂源(28)连接的第一回收流路(48)、以及成为从第一回收流路(48)分支并朝向各头(3)的第二回收流路(53B)的回收用挠性管(5B)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 输送 装置 以及 检查 | ||
【主权项】：
一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：抵接部件，其包含与电子部件抵接的抵接部；供给流路，其对上述抵接部件供给制冷剂；以及回收流路，其从上述抵接部件回收上述制冷剂。
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