[发明专利]位移测量装置和位移测量方法

摘要

本发明涉及一种位移测量装置和位移测量方法。相位检测器包括：采样信号生成器，其被配置为在刻度信号的边沿处生成采样信号；计数器，其被配置为根据时钟脉冲每隔特定时间对计数值进行加计数，并且在所述采样信号所指示的定时输出计数值；边沿极性判断部，其被配置为判断所述刻度信号的边沿极性是上升沿还是下降沿，并且在生成所述采样信号的边沿的极性是下降沿的情况下，生成调整信号；以及调整器，其被配置为在接收到所述调整信号的情况下，向从所述计数器输出的计数值加上预定的调整量。

主权项

1.一种位移测量装置，包括：主标尺；检测头，其被设置成相对于所述主标尺能够发生相对位移，并且被配置为输出具有根据相对于所述主标尺的相对位移而改变的相位的周期性信号；解调器，其被配置为将所述周期性信号解调成在边沿处具有相位信息的矩形波的刻度信号；以及相位检测器，其被配置为在边沿的定时检测所述刻度信号的相位信息，其中，所述相位检测器包括：采样信号生成器，其被配置为在所述刻度信号的边沿的定时生成采样信号；计数器，其被配置为根据时钟脉冲每隔特定时间对计数值进行加计数，并且在所述采样信号所指示的定时输出计数值；边沿极性判断部，其被配置为判断所述刻度信号的边沿的极性是上升沿还是下降沿，并且在生成所述采样信号的边沿是下降沿的情况下生成调整信号；以及调整器，其被配置为在接收到所述调整信号的情况下，向从所述计数器输出的计数值加上预定的调整量，平均计算执行器，其被配置为计算k个采样值的平均值；其中，所述计数器与基准信号同步，并且所述计数器是所述基准信号的k/2个周期为计数值的一次循环的循环计数器，所述采样信号生成器在采样变为启用后的所述刻度信号的边沿的定时连续k次生成采样信号，在采样变为启用后并且在所述刻度信号的第一个边沿是下降沿的情况下，所述边沿极性判断部生成所述调整信号，以及所述调整器向从所述计数器输出的计数值加上作为调整量的与所述计数器的一次循环的1/k相等的值，其中k是自然数。