[发明专利]一种气路清洗系统及清洗方法

摘要

本发明提供一种气路清洗系统包括以下部件待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路；各待测气源连接于所述气体混合装置，气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，出气口与气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与待测气源以及稀释气源连接，第二进气口通过阀门与稀释气源连接，第三进气口通过阀门和清洗气源连接。本发明还提供一种所述清洗系统的气路清洗方法，用于解决现有技术中不能使用较大流速的气体进行清洗，导致清洗时间较长、清洗效果欠佳的问题。

主权项

一种气路清洗系统，其特征在于，所述气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路；各待测气源连接于所述气体混合装置，所述气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，所述出气口与所述气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与所述待测气源以及所述稀释气源连接，第二进气口通过阀门与所述稀释气源连接，第三进气口通过阀门和所述清洗气源连接；所述第一阀门设置于所述稀释气源以及待测气源之间的气体管路，第二阀门设置于所述待测气源以及气体混合装置第一进气口之间的气体管路，第三阀门设置于所述稀释气源以及气体混合装置第二进气口之间的气体管路，第四阀门设置于所述清洗气源以及气体混合装置第三进气口之间的气体管路。