[发明专利]对准标记及掩膜版

摘要

本发明涉及一种对准标记和掩膜版，其中对准标记包括基准标记单元和对准标记单元，基准标记单元包括角度基准标记单元、纵向基准标记单元和横向基准标记单元，该对准标记单元包括角度对准标记单元、纵向对准标记单元和横向对准标记单元，其中，该角度基准标记单元为十字形状，该角度对准标记单元包括4个角度对准标记元素，该4个角度对准标记元素分别与角度基准标记的4个直角接近配合，用以在旋转角度参量上精确对准。本发明适用于微电子流程中任意图形的套刻工艺中，可以将套刻的掩膜版与待加工的样品精确对准，具有广泛的实用意义。

主权项

一种对准标记，包括基准标记单元和对准标记单元，其特征在于，所述基准标记单元包括角度基准标记单元、纵向基准标记单元和横向基准标记单元，所述对准标记单元包括角度对准标记单元、纵向对准标记单元和横向对准标记单元，其中，所述角度基准标记单元为十字形状，所述角度对准标记单元包括4个角度对准标记元素，所述4个角度对准标记元素分别与所述角度基准标记的4个直角配合。