[发明专利]用于电介质层上的无电镀覆的活化溶液有效
申请号: | 201610006183.7 | 申请日: | 2008-12-20 |
公开(公告)号: | CN105671524B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 阿尔图尔·科利奇 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;C23C18/31;H01L21/70 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如;李献忠 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 所呈现的是一种活化氧化表面以进行金属的无电沉积的溶液。该溶液包含粘合剂,该粘合剂具有至少一个能够与该氧化表面形成化学键的官能团以及至少一个能够与催化剂形成化学键的官能团。还呈现了制造电子器件的方法以及使用该方法制造的电子器件。 | ||
搜索关键词: | 用于 电介质 镀覆 活化 溶液 | ||
【主权项】:
1.一种活化氧化物表面以进行无电沉积的溶液,该溶液包含:一定量的水溶性溶剂;一定量的催化剂的源;一定量的粘合剂,该粘合剂具有至少一个能够与该氧化物表面形成化学键的官能团并具有至少一个能够与该催化剂形成化学键的官能团;以及一定量的水,其中所述水溶性溶剂用于溶解所述催化剂的源和所述粘合剂,其中该粘合剂具有通式(R1‑O)4‑nMXn,其中M是硅;X是能够与该催化剂形成化学键的官能团;R1‑O是能够与该氧化物表面形成化学键的官能团,O是氧;以及n是2或3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司,未经朗姆研究公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610006183.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种气动压胶枪
- 下一篇:一种触摸屏点胶的定位治具
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理