[发明专利]窄带化激光装置和谱线宽度计测装置有效
申请号: | 201580084190.2 | 申请日: | 2015-12-10 |
公开(公告)号: | CN108352673B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 熊崎贵仁;石田启介;古里博志 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/13 | 分类号: | H01S3/13;H01S3/00;G01J3/28 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟;于英慧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 窄带化激光装置可以具有:激光谐振器,其包含使谱线宽度窄带化的光学元件;分光器,其对从激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布;光谱波形生成部,其生成对多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形;装置函数存储部,其存储分光器的装置函数;波长频度函数生成部,其生成表示多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数;以及去卷积处理部,其使用装置函数和波长频度函数来对光谱波形进行去卷积处理。 | ||
搜索关键词: | 窄带 激光 装置 谱线宽度 | ||
【主权项】:
1.一种窄带化激光装置,其具有:激光谐振器,其包含使谱线宽度窄带化的光学元件;分光器,其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布;光谱波形生成部,其生成对所述多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形;装置函数存储部,其存储所述分光器的装置函数;波长频度函数生成部,其生成表示所述多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数;以及去卷积处理部,其使用所述装置函数和所述波长频度函数对所述光谱波形进行去卷积处理。
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