[发明专利]固体激光系统和曝光装置用激光装置有效
| 申请号： | 201580075664.7 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN107210576B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 小野濑贵士;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;G02F1/37;H01S3/23 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;韩香花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本公开提供一种固体激光系统，其可以具备：第一固体激光装置，输出基于第一种子光生成的第一波长的第一脉冲激光束；第二固体激光装置，输出基于第二种子光生成的第二波长的第二脉冲激光束；波长转换系统，供第一脉冲激光束和第二脉冲激光束射入，并且输出由第一波长和第二波长通过波长转换而形成的第三波长的第三脉冲激光束；波长检测部，检测第三波长的值；以及波长控制部，在目标波长的值与由波长检测部检出的第三波长的值之差的绝对值小于等于所定值的情况下，控制第一固体激光装置来改变第一波长；在绝对值大于所定值的情况下，控制第二固体激光装置来改变第二波长。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 激光 系统 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种固体激光系统，具备：第一固体激光装置，输出基于第一种子光生成的第一波长的第一脉冲激光束；第二固体激光装置，输出基于第二种子光生成的第二波长的第二脉冲激光束；波长转换系统，供所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入，并且输出由所述第一波长和所述第二波长通过波长转换而形成的第三波长的第三脉冲激光束；波长检测部，检测所述第三波长的值；以及波长控制部，在作为所述第三波长的目标值的目标波长的值与由所述波长检测部检出的所述第三波长的值之差的绝对值小于等于所定值的情况下，控制所述第一固体激光装置来改变所述第一波长；在所述绝对值大于所述所定值的情况下，控制所述第二固体激光装置来改变所述第二波长，其中，该目标波长是从作为外部装置的曝光装置指示的目标波长。
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