[发明专利]测定方法及光插座有效
| 申请号： | 201580069845.9 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN107148551B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 森冈心平;齐藤悠生;新见忠信 | 申请（专利权）人： | 恩普乐股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G02B6/42;H01L31/0232 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;王怀章 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 准备具有设置平面(141)、光学平面、以及基准平面(147)的光插座(140)。基准平面(147)相对于设置平面(141)的倾斜角度小于光学平面相对于设置平面(141)的倾斜角度。接着，测定作为基准平面(147)相对于设置平面(141)的倾斜角度的第一倾斜角度θ1、以及作为光学平面相对于基准平面(147)的倾斜角度的第二倾斜角度θ2。接着，将第一倾斜角度θ1与第二倾斜角度θ2加和来计算作为光学平面相对于设置平面(141)的倾斜角度的第三倾斜角度θ3。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 方法 插座 | ||
【主权项】：
1.一种测定方法，使用激光探头以非接触式对光插座中的光学平面相对于设置平面的倾斜角度进行测定，包括以下工序：准备具有设置平面、光学平面、以及基准平面的光插座的工序，所述基准平面相对于所述设置平面的倾斜角度小于所述光学平面相对于所述设置平面的倾斜角度；测定作为所述基准平面相对于所述设置平面的倾斜角度的第一倾斜角度的工序；测定作为所述光学平面相对于所述基准平面的倾斜角度的第二倾斜角度的工序；以及将所述第一倾斜角度和所述第二倾斜角度加和来计算作为所述光学平面相对于所述设置平面的倾斜角度的第三倾斜角度的工序。
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