[发明专利]编码器、位置测量系统和光刻设备

摘要

编码器包括光学部件和包围装置，所述包围装置具有第一表面部分和第二表面部分。第一表面部分被布置为从周围环境接收第一辐射束。第二表面部分被布置为从周围环境接收第二辐射束。光学部件被布置为组合第一辐射束和第二辐射束。包围装置被布置为沿第一路径传播第一辐射束。第一路径介于第一表面部分和光学部件之间。包围装置被布置为沿第二路径传播第二辐射束。第二路径介于第二表面部分和光学部件之间。包围装置被布置为封闭空间以使第一路径和第二路径与周围环境隔离。

主权项

1.一种编码器，包括：光学部件；具有接收表面、第一介质和第二介质的包围装置，其中接收表面被布置为从周围环境接收第一辐射束和第二辐射束，其中光学部件被布置为组合第一辐射束和第二辐射束，其中包围装置被布置为沿第一路径传播第一辐射束并且沿第二路径传播第二辐射束，其中第一路径和第二路径从接收表面到光学部件，其中包围装置被布置为使第一路径和第二路径与周围环境隔离，其中第一路径至少部分地穿过第一介质，其中第二路径至少部分地穿过第二介质，其中第一路径穿过第二介质的路径长度与第二路径穿过第二介质的路径长度不同，以使第一辐射束的总光学路径长度和第二辐射束的总光学路径长度彼此相等。