[发明专利]弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置有效
申请号: | 201580060673.9 | 申请日: | 2015-11-16 |
公开(公告)号: | CN107078712B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 中川亮 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/64;H03H9/72 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供一种能够抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。弹性波谐振器(1)具备压电基板(2)和形成在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具备:第1电极层(4),具有配置在压电基板(2)侧的第1主面(4a)和与第1主面(4a)对置的第2主面(4b),并由Al或以Al为主体的合金构成。利用SH波作为传播的弹性波。在弹性波谐振器(1)中,在将弹性波谐振器(1)的谐振频率设为fr并将反谐振频率设为fa时,在由下述式(1)表示的频率f处,通过二维有限元法计算出的第1主面(4a)中的失真的S |
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搜索关键词: | 弹性 谐振器 滤波器 双工器 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种弹性波谐振器,具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极,其中,所述IDT电极具备:第1电极层,具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面,并由Al或以Al为主体的合金构成,利用SH波作为传播的弹性波,在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr,并将反谐振频率设为fa时,在由下述式(1)表示的频率f处,通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10‑3以下,f=fr+0.06×bw …式(1)式(1)中,bw是fa‑fr。
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