[发明专利]腐蚀抑制剂以及相关的组合物及方法在审
| 申请号： | 201580057443.7 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107148496A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | M.卡瓦诺;S.克拉夫特;A.沃尔夫;P.W.卡特;E.西克马;J.克罗斯 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C23F3/04 | 分类号： | C23F3/04;C23F3/06;C23F11/10;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供抑制含有金属的基板的腐蚀的方法。该基板可呈任何适合的形式。在一些实施方式中，该金属为钴。在一些实施方式中，所述方法可用于半导体晶片。本发明还提供抛光基板的化学机械抛光组合物及方法。可在本文所公开的所述方法及组合物中使用腐蚀抑制剂。该抑制剂包含两性表面活性剂、磺酸酯、膦酸酯、羧酸酯、氨基酸衍生物、磷酸酯、羟乙基磺酸酯、硫酸酯、磺基丁二酸酯、磺基肉桂酸酯、或其任意组合。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 抑制剂 以及 相关 组合 方法 | ||
【主权项】：
抑制含有金属的基板的腐蚀的方法，该方法包括：使该基板与包含抑制剂的水性组合物接触，该抑制剂包含两性表面活性剂、磺酸酯、膦酸酯、羧酸酯、氨基酸衍生物、磷酸酯、羟乙基磺酸酯、硫酸酯、磺基丁二酸酯、磺基肉桂酸酯、或其任意组合。
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