[发明专利]晶体硅太阳能电池的制造方法、及太阳能电池模块的制造方法

摘要

本发明的制造方法依次具有如下工序：在单晶硅基板(1)的表面上形成纹理的工序；利用臭氧清洗单晶硅基板的表面的工序；在单晶硅基板的纹理上制膜本征硅层(2)的工序；在本征硅层上制膜导电型硅层(3)的工序。制膜本征硅层前的单晶硅基板(1)的纹理大小低于5μm。优选纹理凹部的曲率半径低于5nm。制膜本征硅层的至少一部分之后、制膜导电型硅层之前，在以氢气为主成分的气体氛围中，对本征硅层进行等离子体处理。

主权项

1.一种晶体硅太阳能电池的制造方法，该晶体硅太阳能电池在单晶硅基板的一主面上依次具有本征硅层、导电型硅层及透明导电层，所述制造方法依次具有如下工序：在所述单晶硅基板表面形成纹理的工序；利用臭氧清洗所述单晶硅基板表面的工序；在所述单晶硅基板的所述纹理上制膜所述本征硅层的工序；在所述本征硅层上制膜所述导电型硅层的工序，其中，制膜所述本征硅层之前，所述纹理的凹部的曲率半径低于5nm，且所述纹理的大小低于5μm，制膜所述本征硅层的至少一部分之后、制膜所述导电型硅层之前，在以氢气为主成分的气体氛围中，对所述本征硅层进行等离子体处理。