[发明专利]图案形成方法和制造物品的方法

摘要

本发明提供通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在基板上形成多个图案层的图案形成方法，所述方法包括：第一步骤，基于通过对由采用全局对准方法的光刻装置在基板上形成的多个标记使用逐个管芯对准方法获得的对准信息，通过采用逐个管芯对准方法的第一光刻装置形成第一图案层；以及第二步骤，基于通过对由第一光刻装置在第一步骤中在基板上形成的多个压射区域使用全局对准方法获得的对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠(S3)。

主权项

1.一种图案形成方法，通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在多个基板中的每个基板上形成多个图案层，所述第一光刻装置采用逐个管芯对准方法，第二光刻装置采用全局对准方法，所述方法包括以下步骤：通过使用采用全局对准方法的光刻装置在所述多个基板中的每个基板上仅形成多个对准标记；基于通过对所述多个对准标记执行逐个管芯对准获得的第一对准信息，通过第一光刻装置在所述多个基板中的每个基板上形成第一图案层；以及基于通过对由第一光刻装置分别形成以图案的第一图案层中的多个压射区域执行全局对准获得的第二对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠，其中对所述多个基板中的每个基板获得第一对准信息，并且从所述多个基板中的一个基板获得第二对准信息。