[发明专利]抗蚀剂图案被覆用涂布液有效
| 申请号： | 201580049091.0 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN106715619B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 西田登喜雄;志垣修平;藤谷德昌;远藤贵文;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09D201/06 | 分类号： | C09D201/06;C09D201/08;C08F212/12;C09D5/00;C09D7/20;C09D183/04;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/311 |
| 代理公司： | 11247 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马妮楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种新型的抗蚀剂图案被覆用涂布液。本发明涉及抗蚀剂图案被覆用涂布液以及使用该涂布液的抗蚀剂图案或反转图案的形成方法，所述抗蚀剂图案被覆用涂布液包含：A成分：含有至少1个羟基或羧基的聚合物；B成分：A‑SO | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 图案 被覆 用涂布液 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其含有：/nA成分：含有至少1个羟基或羧基的聚合物，/nB成分：A-SO
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