[发明专利]稀释液制造方法以及稀释液制造装置有效

专利信息
申请号: 201580048053.3 申请日: 2015-08-04
公开(公告)号: CN106688082B 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 林佳史;山下幸福;山中弘次;矢野大作 申请(专利权)人: 奥加诺株式会社
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;B01F1/00;B01F3/08;B01F5/00;B01F15/04
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的稀释液制造方法通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液,该稀释液制造方法包括以下步骤:使第一液体在第一配管(11)中流动;对用于贮存第二液体的罐体(12)内的压力进行控制,通过将罐体(12)与第一配管(11)连接的第二配管(13)来将第二液体添加到第一配管(11)内的第一液体。添加第二液体的步骤中包括以下步骤:测定第一配管(11)内流动的第一液体的流量或稀释液的流量;测定稀释液的成分浓度;以及基于流量的测定值和成分浓度的测定值来控制罐体(12)内的压力,使得稀释液的成分浓度为规定值。
搜索关键词: 稀释液 制造 方法 以及 装置
【主权项】:
1.一种稀释液制造方法,通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液,该稀释液制造方法包括以下步骤:使所述第一液体在第一配管中流动;以及对用于贮存所述第二液体的罐体内的压力进行控制,通过用于将所述罐体与所述第一配管连接的第二配管来将所述第二液体添加到在所述第一配管内流动的所述第一液体,其中,在添加所述第二液体的步骤中包括以下步骤:测定在所述第一配管内流动的所述第一液体的流量或所述稀释液的流量;测定所述稀释液的成分浓度;测定所述第一配管内的压力;以及基于所述流量的测定值、所述成分浓度的测定值和所述压力的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
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