[发明专利]共焦平面相对于共焦设备与样品的相对移动方向倾斜的共焦表面形貌测量有效
| 申请号： | 201580047365.2 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106662434B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 埃雷兹·兰伯特;阿迪·莱文;塔勒·维科尔 | 申请（专利权）人： | 阿莱恩技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;A61C19/04;G02B21/00;G02B23/26 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 吴立;邹轶鲛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于测量三维结构的表面形貌的设备。在多个实施例中，所述设备被配置为将多个光束中的每个光束均相对于所述设备聚焦到各自固定的焦点位置。所述设备测量多个返回光束中的每个返回光束的特性，该返回光束通过利用光束照射所述三维结构而产生。针对所述设备与所述三维结构之间的多个不同位置和/或朝向测量所述特性。针对所述设备与所述三维结构之间的多个不同位置和/或朝向，至少部分地基于测量的返回光束的所述特性，确定所述三维结构的表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 相对于 设备 样品 相对 移动 方向 倾斜 表面 形貌 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量三维结构的表面形貌的设备，所述设备被配置为：(a)将多个光束中的每个光束均相对于所述设备聚焦到各自的固定的焦点位置；(b)测量多个返回光束中的每个返回光束的特性，通过用所述光束照射所述三维结构而产生所述多个返回光束，针对所述设备与所述三维结构之间的多个不同位置和/或朝向测量所述特性；并且(c)针对所述设备与所述三维结构之间的多个所述不同位置和/或朝向，至少部分地基于测量的所述返回光束的所述特性，来确定所述三维结构的表面形貌。
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