[发明专利]用于确定紫外线系统中的RF源的适用性的系统有效
| 申请号： | 201580037019.6 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106537515B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·M·库利 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | G21K5/00 | 分类号： | G21K5/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;金洁 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于照射衬底的UV系统(100)，包括：RF源(102)，该RF源(102)能够生成RF能量；UV灯(105)，该UV灯(105)当由RF源生成的RF能量激发时，能够发射UV能量；和耦合到RF源的监视器(114)。该监视器包括与RF源相关的数据。UV系统还包括能够与监视器通信的控制器(116)，并且控制器基于监视器的数据来确定RF源是否适于与UV系统一起操作和/或已经达到其使用寿命的终点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 紫外线 系统 中的 rf 适用性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于照射衬底的UV系统，包括：RF源，所述RF源能够生成RF能量；UV灯，所述UV灯当由所述RF源生成的RF能量激发时，能够发射UV能量；耦合到所述RF源的监视器，所述监视器包括能够生成与所述RF源相关的数据的处理器和存储器；和控制器，所述控制器能够从所述监视器接收所述数据，所述控制器基于所述监视器的所述数据来确定所述RF源是否适于与所述UV系统一起操作，所述控制器包括处理器和存储器，其中，所述监视器和所述控制器中的至少一个被配置为，检测所述RF源的操作条件超过设定的最大值，并且响应于检测到所述RF源的所述操作条件超过所述设定的最大值，而增加计数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诺信公司，未经诺信公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580037019.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
