[发明专利]检测装置、检测方法、处理装置以及处理方法在审
| 申请号： | 201580034955.1 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106489073A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 陈廷槐;田中大充;西原伸彦 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01B11/00;G01M11/00;G02B5/30;G02F1/13;G02F1/13363 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检测装置(DA1)包括支承体(B1)，具有对光学薄膜(OP1)的第一面(OP1a)进行支承的支承面(B1a)，在支承面(B1a)内的至少一部分具有反射面(RS1)；光源部(IL1)，从光学薄膜(OP1)的第二面(OP1b)侧朝向位于反射面(RS1)上的光学薄膜(OP1)照射光；摄像部(CM1)，从光学薄膜(OP1)的第二面(OP1b)侧拍摄位于反射面(RS1)上的光学薄膜(OP1)的反射光像；滤色器(CF1)，通过吸收或者反射给定的波长成分的光，来调整多个偏振图案列(OP12a、OP12b)的反射光像的对比度；和图案检测部(IP1)，基于光学薄膜(OP1)的反射光像来检测位于反射面(RS1)上的偏振图案列(OP12a、OP12b)。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 处理 以及 | ||
【主权项】：
一种检测装置，检测光学薄膜的多个偏振图案列，该光学薄膜从第一面侧朝向第二面侧依次设置有相位差层、图案化相位差层以及偏振元件层，该图案化相位差层包括滞相轴的方向互不相同的上述多个偏振图案列，其中，上述检测装置包括：支承体，具有对上述光学薄膜的上述第一面进行支承的支承面，在上述支承面内的至少一部分具有对从上述第二面侧向上述第一面侧透过了上述光学薄膜的光进行反射的反射面；光源部，从上述光学薄膜的上述第二面侧朝向位于上述反射面上的上述光学薄膜照射光；摄像部，从上述光学薄膜的上述第二面侧拍摄位于上述反射面上的上述光学薄膜的反射光像；滤色器，设置在从上述光源部朝向上述摄像部的上述光的光路上，通过吸收或者反射给定的波长成分的光来调整上述多个偏振图案列的反射光像的对比度；以及图案检测部，基于上述光学薄膜的上述反射光像，来检测位于上述反射面上的上述多个偏振图案列。
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