[发明专利]用于机械振动噪声消除的双元件MEMS扩音器

摘要

所公开的是在音频信号中最小化机械振动诱导噪声的系统、装置和方法。在一个方面中，公开了扩音器，其包括第一背板、第一振动膜、第二背板和第二振动膜。第一振动膜响应于扩音器的环境中的声压力波和机械振动相对于第一背板运动，因此导致第一振动膜和第一背板之间的第一电容变化。第二振动膜基本上与声压力波声学隔离，并且响应于扩音器的机械振动相对于第二背板运动，因此导致第二振动膜和第二背板之间的第二电容变化。扩音器还包括或通信地连接到集成电路，集成电路配置为根据第一电容和第二电容产生声学信号。

主权项

一种用于产生音频信号的设备，包括：扩音器；以及集成电路，其中该扩音器包括第一振动膜，该第一振动膜设置为使得：(i)该第一振动膜响应于该扩音器的环境中的声压力波相对于第一背板运动，以及(ii)该第一振动膜也响应于该扩音器的机械振动相对于该第一背板运动，其中该第一振动膜相对于该第一背板的运动导致该第一振动膜和该第一背板之间的第一电容变化；其中该扩音器还包括第二振动膜，该第二振动膜与该扩音器的环境基本上声学隔离，使该第二振动膜基本上不响应于环境中的该声压力波相对于第二背板运动，其中该第二振动膜响应于该扩音器的机械振动相对于该第二背板运动，并且其中该第二振动膜相对于该第二背板的运动导致该第二振动膜和该第二背板之间的第二电容变化；其中，该第一背板和该第二背板中的每一个被穿孔，并且该第二振动膜包括穿孔，该穿孔被设计为允许声压力波通过该第二振动膜，而不使得该第二振动膜相对于该第二背板移动；并且其中该集成电路配置为根据该第一电容变化和该第二电容变化之差产生音频信号。