[发明专利]用于监测并且调节流体流量的芯片器件及其制造方法

摘要

公开了一种用于监测流体介质的器件及其制造方法。所述监测器件可被实现为单个单片单元，该单元在没有单独封装的情况下由特定类型的材料制成，并且具有基体元件，所述基体元件包括至少一个流体端口和至少一个空腔或流体流动路径，所述至少一个空腔或流体流动路径流体联接到所述至少一个流体端口，以能够与所述至少一个流体端口进行流体介质的流体交换。所述器件包括与所述空腔或流体流动路径关联的至少一个感测元件，所述感测元件被构造并且能操作成测量引入所述空腔或流体流动路径中的流体介质的至少一个性质或状况，并且生成表征该性质或状况的测量数据或信号。设置在所述器件的基体元件上并且电联接到所述至少一个感测元件的电触点用于与所述至少一个感测元件创建电连接。

主权项

1.一种至少用于监测流体介质的器件，所述器件包括：基体元件，所述基体元件具有至少一个流体端口、至少一个空腔或流体流动路径以及流体联接到所述至少一个空腔或流体流动路径的至少一个开口，所述至少一个空腔或流体流动路径流体联接到所述至少一个流体端口，以能够与所述至少一个流体端口进行流体介质的交换，所述基体元件是由单种类型的材料制成的单片单元；至少一个可变形元件，所述至少一个可变形元件形成在所述基体元件上，并且被构造成当所述流体介质被引入到所述至少一个空腔或流体流动路径中时与所述流体介质交互作用，所述至少一个开口由所述至少一个可变形元件的至少一个区域密封地覆盖；至少一个感测元件，所述至少一个感测元件形成在覆盖所述至少一个开口的所述至少一个可变形元件的所述至少一个区域上，并且被构造并且能操作成测量所述流体介质的至少一个性质或状况并且生成表征该性质或状况的测量数据或信号；电气元件，所述电气元件电联接到所述至少一个感测元件；以及快速连接装置，所述快速连接装置被构造并且能操作成在与外部器件创建电连接和能密封的流体连通中的至少一种的同时将所述器件固定到所述外部器件。