[发明专利]孔形成方法以及测量装置

摘要

针对载置了近场光产生元件的绝缘性的膜，在电解液中对膜照射光的同时，或在对膜照射光之后将膜设置于电解液中之后，对在电解液中隔着膜设置的两个电极之间施加第一电压，之后对两个电极之间施加第二电压，在电流值到达或超过预先设定的阈值的情况下使检测通过施加第二电压而在两个电极之间流动的电流值的过程停止，由此在薄膜的期望位置打孔。 1

主权项

1.一种孔形成方法，对膜形成孔，其特征在于，反复进行以下工序：

第一工序，针对载置了近场光产生元件的绝缘性的膜，在电解液中对上述膜照射光的同时，或在对上述膜照射光之后将上述膜设置于上述电解液中之后，对在上述电解液中隔着上述膜设置的第一电极与第二电极之间施加第一电压；以及

第二工序，在上述第一工序之后，对上述第一电极与上述第二电极之间施加第二电压，检测通过施加上述第二电压而在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流值，

在上述电流值到达或超过预先设定的阈值的情况下停止反复进行上述第一工序和上述第二工序的过程。

2.根据权利要求1所述的孔形成方法，其特征在于，

上述第二电压小于上述第一电压。

3.根据权利要求1所述的孔形成方法，其特征在于，

以与上述过程的第n次相比在第m次上述第一电压增大或上述第一电压的施加时间变长的方式进行上述过程，其中，n<m。

4.根据权利要求1所述的孔形成方法，其特征在于，

在上述第一工序与上述第二工序之间具有施加与上述第一电压极性相反的电压的工序。

5.一种测量装置，其特征在于，具备：

光源，其对载置了近场光产生元件的绝缘性的膜照射光；

将上述膜设置于腔室内的机构；

导入口，其对设置了上述膜的腔室内导入电解液和测量对象物质；

隔着上述膜而设置的第一电极和第二电极；

电源，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；

电流计，其检测通过施加上述电压而得到的电流值；

控制部，其控制上述光源和上述电源；以及

存储部，其存储了通过对上述膜施加电压而形成的孔的大小与电流值的关系，

上述控制部反复进行以下控制：在对上述膜照射光的同时或在照射之后对上述第一电极与第二电极之间施加第一电压，在施加上述第一电压之后对上述第一电极与上述第二电极之间施加第二电压，检测通过施加上述第二电压而在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流值，

并且，在上述电流值到达或超过被存储于上述存储部并预先设定的阈值的情况下，视为在上述膜上形成了孔而停止反复进行上述控制。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，

上述测量装置具有光检测器，其具备颜色识别机构，该颜色识别机构检测通过所形成的上述孔的上述测量对象物质或对上述测量对象物质附加的标识发光体接收来自上述光源的光而放出的光，

上述存储部存储有构成上述测量对象物质的每种物质的光检测值。

7.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，

针对随着上述测量对象物质通过上述孔而流动的电流值，上述存储部存储有构成上述测量对象物质的每种物质的值，通过对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压而形成上述孔。

8.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，

上述绝缘性的膜是氮化硅膜、氧化硅膜、氮氧化硅膜、氧化铝膜、氧化铪膜、氮氧化铪膜、HfSiON、氧化钛膜、氧化锆膜、ZrSiO₄、氧化钇膜、聚合物膜中的某一种。

9.一种孔形成方法，对膜形成孔，其特征在于，反复进行以下工序：

第一工序，将隔着间隙载置了电极对的绝缘性的膜设置于电解液中，在对上述电极对施加电压的同时或施加电压之后，对隔着上述膜设置的第一电极与第二电极之间施加第一电压；以及

第二工序，在上述第一工序之后，对上述第一电极与上述第二电极之间施加第二电压，检测通过施加上述第二电压而在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流值，

在上述电流值到达或超过预先设定的阈值的情况下，停止反复进行上述第一工序和上述第二工序的过程。

10.根据权利要求9所述的孔形成方法，其特征在于，

上述第二电压小于上述第一电压。

11.根据权利要求9所述的孔形成方法，其特征在于，

以与上述过程的第n次相比在第m次上述第一电压增大或上述第一电压的施加时间变长的方式进行上述过程，其中，n<m。

12.根据权利要求9所述的孔形成方法，其特征在于，

在上述第一工序与上述第二工序之间具有施加与上述第一电压极性相反的电压的工序。

13.一种测量装置，其特征在于，具备：

将隔着间隙载置了电极对的绝缘性的膜设置于腔室内的机构；

导入口，其对设置了上述膜的腔室内导入电解液和测量对象物质；

隔着上述膜而设置的第一电极和第二电极；

第一电源，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；

第二电源，其对上述电极对施加电压；

第一电流计，其检测通过上述第一电源施加电压而得到的电流值；

控制部，其控制上述第一电源和第二电源；以及

存储部，其存储有通过对上述膜施加电压而形成的孔的大小与上述电流值的关系，

上述控制部反复进行以下控制：从上述第二电源对上述电极对施加电压的同时或施加之后，对上述第一电极与第二电极之间施加第一电压，在施加上述第一电压之后对上述第一电极与上述第二电极之间施加第二电压，通过上述第一电流计检测通过施加上述第二电压而在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流值，

并且，在上述电流值到达或超过被存储于上述存储部并预先设定的阈值的情况下，视为在上述膜上形成了孔而停止反复进行上述控制。

14.根据权利要求13所述的测量装置，其特征在于，

所述测量装置具有第二电流计，该第二电流计检测随着上述测量对象物质通过所形成的上述孔而流过上述电极对的电流值，

上述存储部还针对上述电流值，存储有构成上述测量对象物质的每种物质的值。