[实用新型]一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置有效
申请号: | 201521126064.2 | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN205319128U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 华重庆;过渭平 | 申请(专利权)人: | 安徽银欣新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 蒋海军 |
地址: | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置,属于太阳能电池生产设备技术领域。本实用新型的用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置,包括集水槽、传动机构和喷淋机构,其中,所述的传动机构安装于集水槽内用于承载、输送电池片,在传动机构的上方设有喷淋机构,所述的喷淋机构包括喷淋管、供水管和水箱,喷淋管通过供水管与水箱相连,沿喷淋管的长度方向设有一排节流阀,在喷淋管下方对应的传动机构上设有传感器,且所述供水管上设有进水调节阀,上述传感器、节流阀及进水调节阀均与控制器相连。通过使用本实用新型的喷淋装置,可有效防止喷淋水的空流现象,减少水源浪费,且能够保证水膜形成的稳定性和均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 刻蚀 喷淋 装置 | ||
【主权项】:
一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置,包括集水槽(1)、传动机构和喷淋机构,其中,所述的传动机构安装于集水槽(1)内用于承载、输送电池片,在传动机构的上方设有喷淋机构,其特征在于:所述的喷淋机构包括喷淋管(5)、供水管(7)和水箱(8),喷淋管(5)通过供水管(7)与水箱(8)相连,沿喷淋管(5)的长度方向设有一排节流阀(6),在喷淋管(5)下方对应的传动机构上设有传感器,且所述供水管(7)上设有进水调节阀(701),上述传感器、节流阀(6)及进水调节阀(701)均与控制器相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造