[实用新型]高真空多功能镀膜样品台有效
| 申请号： | 201521034429.9 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN205223342U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李璐 | 申请（专利权）人： | 沈阳科诚真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及高真空多功能镀膜样品台。该高真空多功能镀膜样品台包括：升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。本实用新型提供的高真空多功能镀膜样品台，为集约型，简洁，质量轻，成本低廉，可真空在线更换图形，可手动、可电动，并配有样品小挡板，加热采用光电加热，整洁、干净，温度误差小，亦可做成水冷式。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 多功能 镀膜 样品 | ||
【主权项】：
高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，包括：升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。
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