[实用新型]石英坩埚水套有效

专利信息
申请号: 201520954839.9 申请日: 2015-11-25
公开(公告)号: CN205133393U 公开(公告)日: 2016-04-06
发明(设计)人: 王震;侯建 申请(专利权)人: 锦州佑鑫石英科技有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 赵月娜
地址: 121017 辽宁省锦州*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及一种石英坩埚水套,包括水套壳体,水套壳体底部中心设有抽气口,其特征在于:水套壳体外部由上至下依次设有上冷却水腔和下冷却水腔,上冷却水腔的顶部延伸至水套壳体上沿水平位置,上冷却水腔的底部延伸至水套壳体支撑环下部水平位置,下冷却水腔的底部延伸至水套壳体底部水平位置,上冷却水腔的底部向腔壁外侧引出上冷却水腔进水管,上冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出上冷却水腔回水管,下冷却水腔的底部向腔壁外侧引出下冷却水腔进水管,下冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出下冷却水腔回水管。冷却效果好、冷却效率高,保证石英坩埚所处环境真空度、避免水套上口变形严重,延长模具上口的使用寿命,冷却水管检修容易。
搜索关键词: 石英 坩埚
【主权项】:
一种石英坩埚水套,包括水套壳体,所述水套壳体内壁上部设有支撑环,所述水套壳体底部中心设有抽气口,其特征在于:所述水套壳体外部由上至下依次设有上冷却水腔和下冷却水腔,所述上冷却水腔的顶部延伸至水套壳体上沿水平位置,所述上冷却水腔的底部延伸至水套壳体支撑环下部水平位置,所述下冷却水腔的底部延伸至水套壳体底部水平位置,所述上冷却水腔的底部向腔壁外侧引出上冷却水腔进水管,所述上冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出上冷却水腔回水管,所述下冷却水腔的底部向腔壁外侧引出下冷却水腔进水管,所述下冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出下冷却水腔回水管。
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