[实用新型]适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座有效
| 申请号： | 201520887616.5 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN205099748U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 邵玮 | 申请（专利权）人： | 苏州新锐博纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;G01N1/28 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座，将衬底座设计成一个菱柱结构，菱柱横截面为正六边形，菱柱选用材料为无氧铜材质，菱柱中间为空心，加热源放置在菱柱的内部；在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔，样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定，样品的中心置于大圆孔中心。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 真空 沉积 样品 衬底 | ||
【主权项】：
适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座，其特征是将衬底座设计成一个菱柱结构，菱柱横截面为正六边形，菱柱选用材料为无氧铜材质，菱柱中间为空心，加热源放置在菱柱的内部；在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔，样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定，样品的中心置于大圆孔中心。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州新锐博纳米科技有限公司，未经苏州新锐博纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520887616.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变电站高压室的联开门
- 下一篇：一种井式氮化炉风扇主轴的组合式密封结构
- 同类专利
- 专利分类
