[实用新型]一种用于直写式光刻机PCB板的卷对卷粘尘装置有效
| 申请号： | 201520765067.4 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN205074297U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 曹常瑜 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于直写式光刻机PCB板的卷对卷粘尘装置，包括两个上支架、两个下支架、两根转轴、第一粘膜芯、第二粘膜芯、一根第一粘棒和两根第二粘棒；所述第一粘膜芯上卷设有干净粘膜，所述第二粘膜芯为空白粘膜芯，用于收卷脏污粘膜；所述第一粘膜芯上的干净粘膜的自由端从第一粘棒与两根第二粘棒之间穿过并卷设到第二粘膜芯上，所述第一粘膜芯在第二粘膜芯的带动下转动；所述两根第二粘棒在PCB板的带动下转动。本实用新型省去了普通除尘的来回滚动和切除脏污粘膜环节，除尘伴随PCB板进入曝光区域，无需额外占用时间，一卷粘膜只用取放一次，大大减少了工作时间，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直写式 光刻 pcb 卷粘尘 装置 | ||
【主权项】：
一种用于直写式光刻机PCB板的卷对卷粘尘装置，其特征在于：包括固定在机台上的两个上支架和两个下支架，所述上支架位于下支架的上方；所述两个上支架之间架设有两根相互平行的转轴，其中一根转轴上可拆卸地固定装设有第一粘膜芯，另一根转轴与驱动电机连接，其上可拆卸地固定装设有第二粘膜芯；所述第一粘膜芯上卷设有干净粘膜，所述第二粘膜芯为空白粘膜芯，用于收卷脏污粘膜；所述两个下支架之间安装有一根第一粘棒和两根第二粘棒，所述第一粘棒紧压设置在两根第二粘棒上，所述两根第二粘棒紧压设置在吸盘垫板上；所述第一粘膜芯上的干净粘膜的自由端从第一粘棒与两根第二粘棒之间穿过并卷设到第二粘膜芯上，所述第一粘膜芯在第二粘膜芯的带动下转动；所述两根第二粘棒在PCB板的带动下转动，所述PCB板进入曝光区域时，从两根第二粘棒与吸盘垫板之间穿过。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备有限公司，未经合肥芯碁微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520765067.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
