[实用新型]紫外激光曝光系统有效
申请号: | 201520586319.7 | 申请日: | 2015-08-07 |
公开(公告)号: | CN204759019U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 汪晓波;赖国权 | 申请(专利权)人: | 长沙青波光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用公开了一种紫外激光曝光系统,用于对PCB板进行曝光,所述紫外激光曝光系统包括:固态紫外激光器,该固态紫外激光器向右发射一束紫外激光;激光打散装置,该紫外激光经过该激光打散装置后形成半径大于该紫外激光的半径的一束打散激光;聚焦透镜组,该打散激光经过该聚焦透镜组后形成一长条形矩形光斑;以及,该长条形矩形光斑用以扫描该PCB板。本实用的优点是:入射角度小、光强均匀,且印版成像精度高。 | ||
搜索关键词: | 紫外 激光 曝光 系统 | ||
【主权项】:
紫外激光曝光系统,用于对PCB板(100)进行曝光,其特征在于:所述紫外激光曝光系统包括:———固态紫外激光器(10),该固态紫外激光器(10)向右发射一束紫外激光;———激光打散装置(20),该紫外激光经过该激光打散装置(20)后形成半径大于该紫外激光的半径的一束打散激光;———聚焦透镜组(30),该打散激光经过该聚焦透镜组(30)后形成一长条形矩形光斑;以及该长条形矩形光斑用以扫描该PCB板(100)。
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