[实用新型]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶有效
申请号: | 201520584751.2 | 申请日: | 2015-08-05 |
公开(公告)号: | CN204959086U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 陈桂宝;唐磊;何晨旭;朱姚培 | 申请(专利权)人: | 江苏荣马新能源有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,包括恒温槽、衬套、源瓶本体,所述恒温槽内侧表面设有衬套,源瓶本体设置在恒温槽内,所述源瓶本体上方设有进气口、出气口,进气口通过进气管与源瓶本体连接,所述进气管伸入源瓶本体底部,进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管,所述出气口通过出气管与源瓶本体连接,本实用新型解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。 | ||
搜索关键词: | 太阳电池 用三氯氧磷 扩散 | ||
【主权项】:
一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,其特征在于:包括恒温槽、衬套、源瓶本体,所述恒温槽内侧表面设有衬套,源瓶本体设置在恒温槽内,所述源瓶本体上方设有进气口、出气口,进气口通过进气管与源瓶本体连接,所述进气管伸入源瓶本体底部,进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管,所述出气口通过出气管与源瓶本体连接。
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