[实用新型]一种旋转式振镜扫描装置有效
| 申请号： | 201520529430.2 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN204771141U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 黄见洪;翁文;陈金明;李锦辉;阮开明;邓晶;刘华刚;林文雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 11417 | 代理人： | 谢蓉 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种旋转式振镜扫描装置，包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，扫描振镜固定在转台上；转轴连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上。旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 式振镜 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转式振镜扫描装置，其特征在于：包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，其中：扫描振镜固定在转台上；转轴的第一端连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；转轴呈中空状，沿其轴向设置有通孔，工作反射镜固定在转台上，激光器发射的激光经过转轴的通孔照射到扫描振镜，随后激光束依次由扫描振镜和工作反射镜反射，照射到转台下方的工作面上。
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