[实用新型]真空喷雾装置有效
| 申请号： | 201520459503.5 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN204898053U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 廖骁飞 | 申请（专利权）人： | 崴鸿科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;高瑞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空喷雾装置，用于物理气相沉积，其包括真空炉、以及将材料源气化形成气雾并输送至所述真空炉的喷雾气化炉，所述喷雾气化炉与所述真空炉相连接；所述喷雾气化炉内部设有供所述气雾收容并混合的气雾室。通过本实用新型，材料源先在喷雾气化炉内气化形成气雾后再输送至真空炉以完成物理气相沉积，其中气雾在喷雾气化炉内及输送至真空炉的过程中有充分的空间和时间进行混合，从而提高物理气相沉积效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 喷雾 装置 | ||
【主权项】：
一种真空喷雾装置，用于物理气相沉积，其特征在于，包括真空炉（10）、以及将材料源气化形成气雾并输送至所述真空炉（10）的喷雾气化炉（20），所述喷雾气化炉（20）与所述真空炉（10）相连接；所述喷雾气化炉（20）内部设有供所述气雾收容并混合的气雾室（201）。
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