[实用新型]一种Mapping装置有效
申请号: | 201520429799.6 | 申请日: | 2015-06-19 |
公开(公告)号: | CN204809197U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 王世锋;吴斌;杨英萍 | 申请(专利权)人: | 苏州通瑞智能系统有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种Mapping装置,包括CCD显微装置,第一丝杠,第一导轨,第一伺服电机,连接架,第二丝杠,第二伺服电机和第二导轨,所述CCD显微装置连接在整个装置的最左端,所述第一丝杠安装在所述CCD显微装置所在的连接件的右端,且所述第一丝杠与所述第一导轨连接,所述第一伺服电机安装在所述第一导轨的下端,所述装置的上半部分与下半部分通过所述连接架连接在一起,所述连接架下方安装有所述第二丝杠,所述第二丝杠下方安装有所述第二导轨,所述第二导轨旁边安装有所述第二伺服电机。采用本实用新型技术方案,能采用CCD装置分开运作,可以使Mapping操作和贴付操作同时进行,节约了时间,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 mapping 装置 | ||
【主权项】:
一种Mapping装置,包括CCD显微装置(1),第一丝杠(2),第一导轨(3),第一伺服电机(4),连接架(5),第二丝杠(6),第二伺服电机(7)和第二导轨(8),其特征在于,所述CCD显微装置(1)连接在整个装置的最左端,所述第一丝杠(2)安装在所述CCD显微装置(1)所在的连接件的右端,且所述第一丝杠(2)与所述第一导轨(3)连接,所述第一伺服电机(4)安装在所述第一导轨(3)的下端,所述装置的上半部分与下半部分通过所述连接架(5)连接在一起,所述连接架(5)下方安装有所述第二丝杠(6),所述第二丝杠(6)下方安装有所述第二导轨(8),所述第二导轨(8)旁边安装有所述第二伺服电机(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造