[实用新型]一种用于单晶硅预清洗的热水罐

摘要

一种用于单晶硅预清洗的热水罐，包括石英罐体、向石英罐体内输入纯水的进水口、排出石英罐体内纯水的出水口和设置在石英罐体底部用于加热纯水的加热体。本实用新型通过在化学液槽增加一个热水罐给化学槽供应热水，当化学液槽需要更换化学液时，热水槽可以直接供给化学液槽热水，由于化学液中纯水的比例达到95%，氨水和双氧水的比例只有5%，因此化学液更换结束后，化学液温度和热水罐的温度几乎一样，可以直接达到工艺温度，可以直接清洗抛光片。这样就可以大大减少化学液升温的时间，提高生产效率，同时也实现了抛光片的连续及时清洗，从而提高抛光片的洁净度。

主权项

一种用于单晶硅预清洗的热水罐，其特征在于：包括石英罐体（1）、向石英罐体（1）内输入纯水的进水口（8）、排出石英罐体（1）内纯水的出水口（9）和设置在石英罐体（1）底部用于加热纯水的加热体（2），加热体（2）的外部包裹有石英外套管（3）以隔绝加热体（2）和石英罐体（1）内的纯水，在石英罐体（1）的顶部设置有一个开口，且该开口用四氟盖子（4）密封，以实现石英罐体（1）的保温和泄压，四氟盖子（4）上固定有用于感应石英罐体（1）内纯水温度的温度传感器（6），所述石英罐体（1）的侧边设置有同步显示石英罐体（1）内水位的连通器（5），在连通器（5）上不同高度处设置有四个液位传感器（7），四个液位传感器（7）由上至下分别为OVER传感器、STOP传感器、LOW传感器和EMPTY传感器。