[实用新型]尾气处理系统和干刻设备有效
| 申请号： | 201520337479.8 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN204637919U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 王燕锋;刘成;李素华;杨硕;王宝友 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/81;B01D46/30;B01D46/44;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余毅勤 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 在本实用新型提供的尾气处理系统和干刻设备中，通过尾气检测装置分别对尾气处理装置的进气口和排气口的气体浓度进行检测，从而对尾气处理装置的处理效果实现准确判断。进一步的，尾气处理系统采用串联设置的尾气处理装置，即使发现尾气处理装置的处理效果变差，也不必立即更换滤料，只需让串联的其他尾气处理装置参与工作即可，从而延长了滤料的更换周期，而且尾气处理装置的进气口与氮气进口连接，向尾气处理装置通入氮气不但能够提高处理效果，而且能够降低真空泵的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 系统 设备 | ||
【主权项】：
一种尾气处理系统，用于对干刻设备排放的尾气进行处理，其特征在于，所述尾气处理系统包括：尾气检测装置、尾气处理装置和控制系统；所述尾气处理装置具有一进气口和一排气口，所述进气口和排气口均与所述尾气检测装置连接，所述尾气检测装置与所述控制系统连接。
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