[实用新型]准单色扩展光源相干调节式干涉系统

摘要

本实用新型涉及一种准单色扩展光源相干调节式干涉系统，主要包括激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、偏振片(4)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)、分光镜(10)、平面反射镜(12)和准直镜(13)构成，所述偏振片(4)设置在空间光调制器(3)的后侧，所述扩束镜(2)设置在激光器(1)和空间光调制器(3)之间。本实用新型提供的准单色扩展光源相干调节式干涉系统实现了准单色扩展光源的空间相干长度调节，从而可以获得对比度最佳的被测面干涉条纹。

主权项

一种准单色扩展光源相干调节式干涉系统，其特征在于：所述干涉系统主要包括激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、偏振片(4)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)、分光镜(10)、平面反射镜(12)和准直镜(13)构成，所述偏振片(4)设置在空间光调制器(3)的后侧，所述扩束镜(2)设置在激光器(1)和空间光调制器(3)之间，按照激光光线的方向依次设置激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)和分光镜(10)，待测镜(11)设置在分光镜(10)的后侧，平面反射镜(12)和准直镜(13)的法线方向与激光器(1)的出射激光方向互相垂直，分别设置在分光镜(10)的两侧。