[实用新型]加热基座有效
| 申请号： | 201520248548.8 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN204714892U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 邱国庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热基座，所述加热基座包括叠置在一起的加热上板、加热中板，所述加热中板和所述加热中板可拆卸连接，所述加热基座还包括加热丝，所述加热丝设置在所述加热上板和所述加热中板之间。本实用新型加热基座不仅结构得到简化，而且其中的加热丝更换方便，使加热基座的使用寿命得到延长。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 基座 | ||
【主权项】：
一种加热基座，其特征在于，所述加热基座包括：叠置在一起的加热上板、加热中板，所述加热上板与所述加热中板可拆卸连接；加热丝，所述加热丝设置在所述加热上板和所述加热中板之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520248548.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀锌铜电镀溶液调节装置
- 下一篇：一种氯气燃烧法回收金属锗的装置
- 同类专利
- 专利分类
