[实用新型]微悬臂梁热振动信号测量装置有效
| 申请号： | 201520237515.3 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN204666496U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李天军 | 申请（专利权）人： | 绍兴文理学院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01H9/00 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 张媛 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种微悬臂梁热振动信号测量装置，包括入射光路组件和两路检测光路组件。入射光路组件包括依次沿光传播方向设置的线偏振器、第一分光镜、沃拉斯顿棱镜、第一会聚透镜以及第二分光镜；偏振激光经线偏振器、第一分光镜以及沃拉斯顿棱镜形成两束偏振方向相互垂直的入射线偏振光，经汇聚后分别垂直入射至微悬梁臂的尖端和基片上，分别反射后形成两束偏振方向相互垂直的反射偏振光，并经沃拉斯顿棱镜汇聚在一起并入射至第二分光镜，形成两束检测偏振光。每一检测光路组件均包括光电检测电路，两束检测偏振光分别入射至两路光电检测电路，光电检测电路将光信号转换为电信号后，通过计算两路电信号来得到两束反射线偏振光的相位差。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 振动 信号 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种微悬臂梁热振动信号测量装置，其特征在于，包括：入射光路组件，包括依次沿光传播方向设置的线偏振器、第一分光镜、沃拉斯顿棱镜、第一会聚透镜以及第二分光镜；偏振激光经线偏振器后形成线偏振光并入射至第一分光镜，改变入射方向后经沃拉斯顿棱镜形成两束偏振方向相互垂直的入射线偏振光，经第一会聚透镜汇聚后分别垂直入射至微悬梁臂的尖端和基片上，分别反射后形成两束偏振方向相互垂直的反射偏振光，并经沃拉斯顿棱镜汇聚在一起并入射至第二分光镜，形成两束检测偏振光；两路检测光路组件，每一所述检测光路组件均包括光电检测电路，两束检测偏振光分别入射至两路光电检测电路，光电检测电路将光信号转换为电信号后，通过计算两路电信号来得到两束反射线偏振光的相位差。
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