[实用新型]用于MOCVD设备的报警装置

摘要

本实用新型提供一种用于MOCVD设备的报警装置，该装置设置在尾气处理器和MOCVD设备之间，包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关；报警器用于在检测到报警信号时发出警报，并将报警信号发送给报警信号等级控制器；报警信号等级控制器用于根据报警信号，确定报警信号的延迟时间；将与延迟时间对应的延迟信号发送给延时装置；延时装置用于根据接收到的延迟信号确定报警信号的延迟时间，并对报警信号进行延迟传输处理；信号取消开关用于在延迟时间内，若判断报警信号为误报警信号，则发出取消信号，消除报警信号。以避免由于误报警信号传输至MOCVD设备的主电脑而导致的机台报警或宕机。

主权项

一种用于MOCVD设备的报警装置，该装置设置在尾气处理器和金属有机化合物化学气相沉淀MOCVD设备之间，其特征在于，包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关；所述报警器用于在检测到报警信号时发出警报，并将所述报警信号发送给所述报警信号等级控制器；所述报警信号等级控制器用于根据所述报警信号，确定所述报警信号的延迟时间；将与所述延迟时间对应的延迟信号发送给所述延时装置；所述延时装置用于根据接收到的所述延迟信号确定所述报警信号的延迟时间，并对所述报警信号进行延迟传输处理；所述信号取消开关用于在所述延迟时间内，若判断所述报警信号为误报警信号，则发出取消信号，消除所述报警信号。