[实用新型]单脉冲激光动态焦斑位置测量装置有效
申请号: | 201520189970.0 | 申请日: | 2015-03-31 |
公开(公告)号: | CN204514569U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 董晓娜;赵娟宁;袁索超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 张倩 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及单脉冲激光动态焦斑位置测量装置,包括待测光学系统、取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列、CCD探测器及壳体,待测光学系统提供待测光束;取样镜对待测光束进行取样,得到取样光束;标准汇聚透镜对取样光束进行汇聚处理,得到汇聚光束,传输给微透镜阵列;微透镜阵列用于将汇聚光束进行再次汇聚后成像在CCD探测器上;待取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列和CCD探测器按照光路的传输方向依次封装在壳体内。本实用新型解决了现有测焦斑位置的方法存在测量范围小、稳定性不高的技术问题,整个系统测量精度和范围可调性强。 | ||
搜索关键词: | 脉冲 激光 动态 位置 测量 装置 | ||
【主权项】:
单脉冲激光动态焦斑位置测量装置,其特征在于:包括待测光学系统、取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列、CCD探测器及壳体,所述待测光学系统提供待测光束;所述取样镜对待测光束进行取样,得到取样光束;所述标准汇聚透镜对取样光束进行汇聚处理,得到汇聚光束,传输给微透镜阵列;所述微透镜阵列用于将汇聚光束进行再次汇聚后成像在CCD探测器上;所述取样镜、标准汇聚透镜、微透镜阵列和CCD探测器按照光路的传输方向依次封装在壳体内。
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