[实用新型]用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统

摘要

本实用新型公开了用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统，包括：第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱，多晶硅尾气供给装置，再生气接受装置，冷却介质供给装置，冷却介质接受装置，加热介质供给装置，加热介质接受装置，氢气接受装置，氢气供给装置。利用本实用新型的用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统可以有效提升吸附柱中活性炭再生效果，降低吸附柱再次吸附时的温度，延长吸附柱再次吸附时温度上升的时间。

主权项

一种用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统，其特征在于，包括：第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱，所述第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱分别独立地具有多晶硅尾气入口、再生气出口、冷却介质入口、冷却介质出口、加热介质入口、加热介质出口、氢气出口和氢气入口；多晶硅尾气供给装置，所述多晶硅尾气供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的多晶硅尾气入口相连；再生气接受装置，所述再生气接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的再生气出口相连；冷却介质供给装置，所述冷却介质供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷却介质入口相连；冷却介质接受装置，所述冷却介质接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷却介质出口相连；加热介质供给装置，所述加热介质供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加热介质入口相连；加热介质接受装置，所述加热介质接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加热介质出口相连；氢气接受装置，所述氢气接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢气出口相连；氢气供给装置，所述氢气供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢气入口相连。