[实用新型]应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置

摘要

本实用新型涉及一种应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置，由依次连接的压缩机制冷系统、中间环路换热系统和半导体制冷系统组成，压缩机制冷系统通过板式换热器与中间环路换热系统连接，压缩机制冷系统提供的冷水通过中间环路换热系统为半导体制冷系统中的半导体制冷模块散热冷却，通过中间环路换热系统，将压缩机制冷系统与半导体制冷系统有机的结合，采用层层叠进的控制方式，为高端装备提供超高精度控制等级的冷冻水，控制精度可达±0.01℃，同时又能保证系统全年无障碍稳定运行。本实用新型，将为精密环境控制关键技术的研究和成套装备的研制，提供有力的技术支撑。

主权项

一种应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置，其特征在于：由依次连接的压缩机制冷系统（A）、中间环路换热系统（B）和半导体制冷系统（C）组成，压缩机制冷系统（A）通过板式换热器（12）与中间环路换热系统（B）连接，半导体制冷系统（C）由依次连接的冷冻水分水器（23）、半导体制冷模块（19）、冷冻水集水器（21）、管道加热器（24）、Y型过滤器（18）、变频水泵（25）和单向阀（26）组成，由单向阀（26）的输出端提供用户用水（D1），用户回水（D2）连接冷冻水分水器（23），压缩机制冷系统提供的冷水通过中间环路换热系统（B）为半导体制冷系统（C）中的半导体制冷模块（19）散热冷却。