[实用新型]柔性基材磁控溅射卷绕镀膜机有效
| 申请号： | 201520007002.3 | 申请日： | 2015-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN204385288U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 谈琦 | 申请（专利权）人： | 四川亚力超膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 610106 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种柔性基材磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空系统、卷绕系统和溅射系统，真空系统包括真空室和真空泵；真空系统用于将真空室内抽真空至磁控溅射需要的真空环境；卷绕系统用于实现基材的放卷和收卷，卷绕系统包括放卷机构、镀膜鼓和收卷机构；由放卷机构释放的基材经镀膜鼓，再由收卷机构进行收卷；所述的镀膜鼓附近设有压辊，所述的压辊位于镀膜鼓的基材伸入方向上；溅射系统用于对经过镀膜鼓的基材进行镀膜得到镀膜产品。本实用新型能够在基材上一次完成多层膜系的镀膜，且不易使塑料基材起皱，同时将圆形真空室固定，柔性基材卷绕系统和磁控溅射装置可以分别从圆形真空室的两侧伸入或拖出到圆形真空室，使设备操作维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 基材 磁控溅射 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】：
柔性基材磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，包括真空系统、卷绕系统(2)和溅射系统(3)，真空系统包括真空室(1)和真空泵；卷绕系统(2)和溅射系统(3)均设置在真空室(1)内；所述的真空系统用于将真空室(1)内抽真空至磁控溅射需要的真空环境；所述的卷绕系统(2)用于实现基材的放卷和收卷，卷绕系统(2)包括放卷机构(201)、镀膜鼓(207)和收卷机构(215)；由放卷机构(201)释放的基材经镀膜鼓(207)，再由收卷机构(215)进行收卷，位于镀膜鼓(207)的基材伸入方向上设有压辊(206)，压辊(206)与镀膜鼓(207)之间设有供基材通行的缝隙；所述的溅射系统(3)用于对经过镀膜鼓(207)的基材进行镀膜得到镀膜产品。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川亚力超膜科技有限公司;，未经四川亚力超膜科技有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520007002.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：湿法出料型矿浆电解铅装置
- 下一篇：一种燃气轮机叶片热障涂层喷涂装置
- 同类专利
- 专利分类
