[发明专利]一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法

摘要

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及凸非球面镜面形检测系统，点衍射干涉装置产生衍射光，并与被测凸非球面镜的反射光进行干涉；基准凹球面镜将衍射光反射至被测凸非球面镜，并将被测凸非球面镜的反射光反射至点衍射干涉装置；基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜的位置；被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜沿光轴方向移动；图像处理装置根据干涉图像及基准凹面镜的面形误差进行计算，获取被测凸非球面镜的面形信息；控制装置控制基准凹球面镜调整机构调整基准凹球面镜位置及被测凸非球面镜调整机构调整被测凸非球面镜位置。本发明还包括凸非球面镜面形检测方法.本发明设置点衍射干涉仪、基准凹面镜及调整机构，达到了准确测试凸非球面镜面形的有益效果。

主权项

1.一种凸非球面镜面形的检测系统，其特征在于，包括点衍射干涉装置、基准凹球面镜、基准凹球面镜调整机构、被测凸非球面镜调整机构、控制装置及图像处理装置；所述点衍射干涉装置，用于产生衍射光，所述衍射光包括第一衍射光和第二衍射光，还用于将所述衍射光与第二反射光干涉，产生干涉图像；所述基准凹球面镜，用于将所述点衍射干涉装置产生的衍射光反射至被测凸非球面镜，形成第一反射光，并将被测凸非球面镜的反射光反射至所述点衍射干涉装置，形成第二反射光；所述基准凹球面镜调整机构，用于调整基准凹球面镜的位置；所述被测凸非球面镜调整机构，用于调整所述被测凸非球面镜沿光轴方向以固定步距移动，以改变所述第二反射光的波前相位；所述图像处理装置，用于接收所述点衍射干涉装置的干涉图像，并根据所述干涉图像及所述基准凹面镜的面形误差数据进行计算，从而获取所述被测凸非球面镜的面形信息；所述控制装置，用于控制所述基准凹球面镜调整机构调整所述基准凹球面镜位置，还用于控制被测凸非球面镜调整机构调整所述被测凸非球面镜位置。