[发明专利]对碳纳米管纤维镀膜的方法在审
| 申请号： | 201510974782.3 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105970155A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 曲海涛;侯红亮;韩宝帅;李殊霞;牛涛;侯星云;胡晋;陈亮 | 申请（专利权）人： | 北京浩运盛跃新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/50 |
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| 地址： | 100024 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对碳纳米管纤维镀膜的方法，方法包括：S1、对所述碳纳米管纤维进行预热处理；S2、将经过步骤S1的碳纳米管纤维缠绕在绕丝架上后设置在溅射腔内，所述绕丝架包括多个间隔设置的绕丝杆，相邻两匝碳纳米管纤维之间存在间隔；S3、以金属为靶材在预定温度下对缠绕在所述绕丝架上的碳纳米管纤维进行溅射镀膜，其中，所述靶材和所述绕丝架之间存在相对转动。在本发明中，金属粒子以物理气相沉积的方式沉积在碳纳米管纤维的表面，不会产生有害气体或有害液体，因此，本发明所提供的方法更加环保。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 纤维 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种对碳纳米管纤维镀膜的方法，其特征在于，所述方法包括：S1、对所述碳纳米管纤维进行预热处理；S2、将经过步骤S1的碳纳米管纤维缠绕在绕丝架上后设置在溅射腔内，所述绕丝架包括多个间隔设置的绕丝杆，相邻两匝碳纳米管纤维之间存在间隔；S3、以金属为靶材在预定温度下对缠绕在所述绕丝架上的碳纳米管纤维进行溅射镀膜，其中，所述靶材和所述绕丝架之间存在相对转动。
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